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CO2/YAG ﾚｰｻﾞｰﾏｰｶｰ印字装置




　　MODEL　：　ＴＳ−ＬＭＹ／Ｃ−２００







● 各資料のｻｲｽﾞ変更（４インチ〜８インチ）時の段取り替えの簡素化により
　　操作ﾊﾟﾈﾙ上の機種変更の選択だけで行なう事ができます。



電源電圧 AC100V　CO2/YAG
ｴｱｰ源 0.5MPa
ウエハーサイズ 4ｲﾝﾁ 〜 6ｲﾝﾁ　 6ｲﾝﾁ 〜 8ｲﾝﾁ
搭載ﾚｰｻﾞｰﾏｰｶｰ CO2/YA　ﾚｰｻﾞｰﾏｰｶｰ
安全対策 各扉インターロック　マーカー部保護カバー
装置寸法 1560 （W）　X 800 （D） X 1350 （H）
総重量 約300kg
※YAGレーザーマーカー搭載時は外装ｶﾊﾞｰ変更。

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